加工定制否 | 品牌EVG |
订货号EVG-01 | 型号EVG-03 |
货号EVG-0086 | 电源电压380V |
功率1000W | 铝丝直径25μm |
外形尺寸1000mm | 重量500kg |
规格0.1nm 至 10mm(闭环无拼接) | 是否跨境货源否 |
加工定制否 | 品牌EVG |
订货号EVG-01 | 型号EVG-03 |
货号EVG-0086 | 电源电压380V |
功率1000W | 铝丝直径25μm |
外形尺寸1000mm | 重量500kg |
规格0.1nm 至 10mm(闭环无拼接) | 是否跨境货源否 |
EVG半自动解键合设备临时键合分离机EVG805DB
EVG805DB是一款半自动的解键合设备,用于将已加工完成的薄器件片从硅、蓝宝石或其它材料的承载片上分离。根据临时键合中间材质的不同,可使用不同的分离方法,如热解、滑移,剥离,紫外活化等。EVG805DB还可以匹配EVG的技术模块EZD,使硅片可以在室温下解键合。
二、应用范围
EVG805DB是一款主要用于薄基片加工领域键合分离设备。广泛应用于存储器,CMOS,3D-TSV,功率器件(如IGs),化合物半导体(如高亮度LEDs或RF功率放大器),以及其它新型需要薄片加工的领域(如MEMS,RFID-tags,柔性显示器等)。
三、主要特点
半自动工工艺处理
菜单控制
工艺参数实时监控
不同的卡盘设计用以支持不同规格的基片(300mm)
单独薄载片用以承接分离的器件基片
不同的解键合方法: 滑开,掀开,edge zone debond (EZD ), UV 辅助分离
企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 统一社会信用代码 | 911101057832377671 |
---|---|---|---|
成立日期 | 2005-11-28 | 法定代表人/负责人 | 彭辉 |
注册资本 | 1,000万(元) | 注册地址 | 北京市朝阳区酒仙桥路14号53幢6层616室 |
营业期限 | 2005-11-28 至 2055-11-27 | 登记机关 | 北京市朝阳区市场监督管理局 |
经营范围 | 技术推广;市场调查;经济贸易咨询;展览服务;组织文化艺术交流活动(不含演出);货物进出口、技术进出口、代理进出口;销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品(不含危险化学品)。(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。) |