【真空等离子腔体式真空等离子设备柜式真空等离子双气体真空等离子】价格

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更新时间 : 2024-07-01

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真空等离子腔体式真空等离子设备柜式真空等离子双气体真空等离子

一、产品介绍

2.1 产品概述

MKS-VAC100 真空等离子清洗机(Plasma cleaner)，气体通过激励电源离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。

2.2 产品优势

v 产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品。

v 水平电极设计，可满足软性产品处理需求。

v 低耗能、耗气产品。

v 便捷的收放板方式。

v 真空系统集成，占地面积小。

v 合理的等离子反应空间，使处理更均匀。

v 集成的控制系统设计，使操作更方便。

2.3 产品结构

真空等离子体表面处理系统主要包括三个部分：真空腔及真空系统，等离子体发生器，控制系统。

（A）真空腔及真空发生系统

真空腔固定于机柜框架内，左右两侧为可拆门，因此内部的真空腔及真空系统的维修是极方便的。真空发生系统由波纹管、KF接头、真空泵以及油雾过滤器组成，核心部件真空泵（真空泵组）。

（B）等离子体发生器

等离子体发生器在20Pa-100Pa间给电极板施加电压，产生低温等离子体。利用高频转换技术形成高频电压加到电极板上，当真空腔内达到一定真空度时，产生等离子体放电现象，放电后电路会自动调节电压到适当值，***电路正常稳定放电。

（C）控制系统

本系统使用MCGS触摸屏、西门子PLC、中文界面。设备的工艺流程控制：真空泵启动->挡板阀开启->达到设定的真空度->通入工艺气体->RF放电->工作时间到破真空->工作完成。设备分自动和手动两种方式。

供应商信息

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企业类型	有限责任公司	统一社会信用代码	9144030030605006XC
成立日期	2014-05-13	法定代表人/负责人	林美爱
注册资本	200万(元)	注册地址	深圳市宝安区松岗街道潭头社区潭头第二工业城A区30栋301
营业期限	2014-05-13 至 5000-01-01	登记机关	深圳市市场监督管理局
经营范围	一般经营项目是：电子设备、激光设备、检测设备的销售;国内贸易；货物及技术进出口。(法律、行政法规、国务院决定规定在登记前须经批准的项目除外;涉及行政许可的，须取得行政许可文件后方可经营），许可经营项目是：激光设备的生产及维护保养。