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卷对卷连续化生长CVD设备RTR-III-80

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品牌贝意克型号RTR-III-80
类型CVD测量范围0KN
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卷对卷连续化生长CVD设备RTR-III-80

设备简介:

  该设备为我司研发用于石墨烯薄膜连续生长或者线性材料的连续的专用设备,此款设备是快速冷却卷对卷CVD连续生长炉,它由高温生长腔体,三路质量流量计气路系统,真空机组,石英管,冷却装置,收放卷的密封装置,自动化控制系统组成,两端分别安装有进料进气真空腔室和出料排气真空腔室(即收放铜箔或纤维丝的密封装置),收放密封装置内分别对应安装有放卷滚轮和收卷滚轮,所输出料排气腔体与炉体之间安装有冷却装置。相对于现有技术具有快速冷却、连续生长的优点,可以进行大面积、高质量石墨烯的规模化生长或者线性材料的连续生长。(纤维生长工艺,配有纤维张力计,可以通过调节电机转速,以便达到纤维连续进出且受力均匀)

 

1.加热系统

zui高温度

1200

使用温度

≤1100

炉膛有效尺寸

Φ80mm(适用于2-3英寸样品,炉管直径可根据实际需要定制。)

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶类型

K型热电偶

控温精度

±1

控温方式

30段可编程控温,PID参数自整定,操作界面为7”工控电脑,内置PLC控制程序。

加热长度

200+200+200mm

加热原件

电阻丝

供电电源

单相,220V50Hz

 

2、三路质子流量控制系统

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2)

200sccm500sccm1000sccm

(可根据用户要求定制)

准确度

±1.5%F.S

线性

±1%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

气特性:14 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围

0.10.5 MPa

zui大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

0.10.15 MPa, 0.01 MPa/

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

 

3低真空机组

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5℃40℃

工作电电压

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽气速率

10m?/h

极限真空

5X10-1Pa

工作压力范围

1.01325X1051.33X10-2Pa

耐压值

0.03MPa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

噪音

50dB

连接方式

采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连


供应商信息

安徽贝意克是一家专注于新材料、新能源设备研发生产与一体的高新技术企业。拥有专利35项。业务涉及领域包括:石墨烯、碳纳米管、高温荧光粉、OLED有机小分子材料、PECVD系统、各种真空气氛管式炉,各种高低温箱式炉等设备。

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企业类型 其他有限责任公司 统一社会信用代码 91340100591423143H
成立日期 2012-03-01 法定代表人/负责人 李晓丽
注册资本 1,700万(元) 注册地址 中国(安徽)自由贸易试验区合肥片区高新区望江西路800号创新产业园路一期D7-308
营业期限 2012-03-01 至 2032-02-27 登记机关 合肥市高新开发区市场监督管理局
经营范围 实验设备研发、生产、销售;维护及技术服务;新能源材料研发、生产、销售及技术服务;电子产品、机电产品、机械设备、数码产品、电脑及耗材、仪器仪表生产及销售;自营和代理各类商品及技术的进出口业务(国家法律法规限定或禁止的商品和技术除外)。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
联系方式
张先生销售经理
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安徽 合肥 巢湖市 合巢经开区秀湖路与和平大道交口
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