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电子束蒸发 NEE-4000(A)全自动电子束蒸发系统

NEE-4000电子束蒸发系统为双腔体的配置,样品台位于主腔体,二级腔体则用于安置电子束源。两个腔体之间的门阀可以作为预真空锁,使得电子束源腔体保持真空的情况下,实现基片通过主腔体放入基片到样平台(或夹具)上或从中取出。自动装/卸载基片可通过 展开

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  • tof-sims,飞行时间质谱,晶圆清洗,磁控溅射
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是否进口原产国/地区美国
加工定制品牌那诺-马斯特
电镀位置溅射和蒸发镀种真空镀膜
镀膜原理蒸发镀膜型号NEE-4000(A)
展开



NEE-4000(A)全自动电子束蒸发系统概述:NANO-MASTER NEE-4000电子束蒸发系统为双腔体的配置,其中样品台位于主腔体内,二级腔体则用于安置电子束源。这种在两个腔体之间带有门阀的配置可以作为预真空锁,使得电子束源腔体保持真空的情况下,实现基片通过主腔体放入基片到样平台(或夹具)上或从中取出。在需要自动装/卸载基片时,他可以通过第三方的预真空锁来实现,这可以设置于立方体的左侧。通过PC计算机控制,系统可以提供多电子束源的共蒸发能力,以及对组分或组分梯度进行编程的能力。


NEE-4000(A)全自动电子束蒸发系统特点:

·         顺序蒸发或共蒸发

·         双电子束源

·         多凹槽电子枪

·         可编程电子束扫描

·         10KW开关电源

·         涡轮分子泵,极限真空5x10-7Torr

·         自动上下载片

·         材料和衬垫更换非常方便

·         晶振式膜厚监测仪

·         通过LabView软件实现PC计算机控制

·         菜单驱动,四级访问密码保护

·         完全的安全联锁


产品型号:

·         NEE-3500:计算机全自动控制的紧凑型独立系统

·         NEE-4000:计算机全自动控制的独立系统

 


供应商信息

上海耀他科技有限公司是一家高新科技公司,服务大中华地区(包含中国大陆,香港,台湾和澳门)的客户,专注于为高校、研究所、企业研发及FAB厂提供技术咨询、产品销售和售后技术支持。 上海耀他科技有限公司主要产品包括薄膜工艺系统、表面分析检测系统以及其他微纳尺度工艺所涉及的相关系统。在薄膜工艺系统领域,产品覆盖薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备等,典型的工艺系统涉及PVD物***相沉积(磁控溅射、热蒸镀、电子束蒸镀)、CVD化学气相沉积(PECVD、ALD、PA-MOCVD)、干法刻蚀(RIE、ICP、DRIE、IBE、RIBE)、晶圆/掩模版清洗系统(单晶圆清洗、兆声清洗),应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。在表面分析检测领域,产品涉及用于材料表面分析应用的飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)、用于气体分析的电子电离质谱(TOF-MS)等。

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企业类型 有限责任公司(自然人投资或控股) 统一社会信用代码 91310114MABTYCA99H
成立日期 2022-07-06 法定代表人/负责人 张文闯
注册资本 500万(元) 注册地址 上海市嘉定区菊园新区环城路2222号6幢101室JT4602
营业期限 2022-07-06 至 2042-07-05 登记机关 嘉定区市场监督管理局
经营范围 一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;软件开发;计算机系统服务;广告制作;广告发布;广告设计、代理;企业形象策划;专业设计服务;企业管理咨询;市场调查(不含涉外调查);图文设计制作;项目策划与公关服务;会议及展览服务;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);组织文化艺术交流活动;互联网销售(除销售需要许可的商品);电子产品销售;计算机软硬件及辅助设备零售;实验分析仪器销售;仪器仪表销售;机械设备销售;半导体器件专用设备销售;第一类医疗器械销售;货物进出口;技术进出口;电子元器件与机电组件设备销售。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)许可项目:建设工程施工;网络文化经营。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)
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