德国ATV公司真空共晶回流炉
产品概述
德国ATV公司于1972年成立于德国慕尼黑,业务专注于真空热处理工艺设备,主要应用在混合电路、半导体和表面贴装领域。
***的焊接系统,带快速退火功能的焊接回流炉(SRO),是一个多用途“冷壁”工艺焊炉。SRO是R&D,工艺研发,由低至高产能生产的理想选择。全自动生产能力可有多种方式实现:与粘片机在线集成、与粘片机系统集成、盒对盒晶片传送或带机器人系统的衬底传送。主要应用于无缺陷焊接和产生***的无助焊剂焊接,如IGBT封装、焊膏工艺、管壳盖板封装、MEMS及真空封装。
产品特点
1. 控温为450℃(更高可选)满足所有软钎焊工艺要求
2. 快速***温度控制
3. 可编程工艺过程控制
4. 氦气漏率5×10^-9mbarL/s,氧气含量可控在2ppm内(5mbar)
5. 真空可达1×10^-5mbar(分子泵)
6. 可选腔体正压模式
7. 多种工艺气氛:N2、N2/H2、纯H2、HCOOH(N2载气)
8. ArH2等离子辅助工艺
9. 腔室顶盖配有观察窗
10.完善系统状态监控和安全互锁设计
技术参数
型号 加热板尺寸 加热功率
SRO-702 147×217 4kw
SRO-704 230×217 6kw
SRO-706 313×240 9kw
主要应用
主要应用于芯片与基板、管壳与盖板等的无缺陷焊接和产生***的无助焊剂焊接,如IGBT封装、焊膏工艺、激光二极管封装工艺、混合集成电路封装、管壳盖板封装、MEMS及真空封装。
企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 统一社会信用代码 | 9111010680221692XQ |
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成立日期 | 2001-03-21 | 法定代表人/负责人 | 王靖育 |
注册资本 | 500万(元) | 注册地址 | 北京市丰台区南四环西路128号院3号楼11层1111室 |
营业期限 | 2001-03-21 至 无固定期限 | 登记机关 | 北京市丰台区市场监督管理局 |
经营范围 | 半导体技术开发;集成电路系统工艺技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务;组织国内文化艺术交流(组织承办文艺演出除外);组织展览展示;企业形象策划;信息咨询(中介除外);销售机械设备、电器设备、电子元器件、仪器仪表、化工、通讯器材(不含无线电发射设备);货物进出口、技术进出口、代理进出口。(领取本执照后,应到区县商务委备案。;市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。) |