【单管扩散炉供应规格齐全可定制青岛晨立电子】价格

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所在地区：山东青岛
主营产品：扩散炉,退火炉,隧道式烧结炉,真空焊接炉

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更新时间 : 2024-07-04

产品特性氧化扩散	加工定制是
品牌晨立	型号CL4513
用途氧化、扩散、烧结、合金	工艺管数量1-4管
工艺管口径Φ90～360 mm	气源路数≤7路
单点稳定性±1.0℃/24h	恒温区长度760～1000 mm±1.0℃

展开

单管扩散炉供应规格齐全可定制青岛晨立电子

外型形式：卧式1—4管结构程控高低温扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。

技术指标：
       可处理硅片尺寸：2—12英寸
       工作温度：200℃—1300℃
       恒温区长度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
       单点温度稳定性、重复性：≤±1.5℃／24h
       温度斜变：可控升温速率20℃／min，
       可控降温速率：5℃／min
       送片装置：全自动悬臂推拉舟、拉杆是推拉舟、手动推拉
       气路系统：1—5路工艺气体管
       气体控制：全自动MFC、手动浮子流量计
       控制方式：工控机、触摸屏

晨立公司拥有十几年的研发制造经验。自成立以来，坚持产品设计和服务质量共同发展，积极进取，精益求精，不断提高产品核心竞争力。公司产品拥有完全自主产权。

供应商信息

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青岛晨立电子有限公司成立于2009年，是半导体设备及零部件、电子设备及电子元器件生产、研发、销售厂家。为客户提供先进材料热处理、高精度电加热设备及系统集成等全套解决方案。主要产品：高低温扩散炉、实验炉、共晶炉、烧结炉、加磁炉、高精度智能温度控制系统和替代进口的扩散炉炉体等，同时承接各种微电子生产线，进口半导体专用设备的翻新升级改造及各大专院校科研院所的非标研发定制工作。公司本着和谐、共赢，以“质量求发展、以诚信为根本、以客户为中心、以用户满意”为目标的企业方针，为客户提供优质的产品，优良的服务。

企业类型	有限责任公司(自然人投资或控股)	统一社会信用代码	91370282686796380X
成立日期	2009-06-02	法定代表人/负责人	姜新诚
注册资本	200万(元)	注册地址	山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼
营业期限	2009-06-02 至无固定期限	登记机关	青岛市即墨区市场监督管理局
经营范围	一般项目：工业自动控制系统装置制造；半导体器件专用设备制造；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；电子专用设备制造；电力电子元器件制造；电子元器件制造；半导体分立器件制造；光伏设备及元器件制造；环境保护专用设备制造；工业自动控制系统装置销售；电子产品销售；半导体分立器件销售；半导体照明器件销售；半导体器件专用设备销售；半导体照明器件制造；电子专用设备销售；光伏设备及元器件销售；工业机器人安装、维修；工业机器人销售；货物进出口；技术进出口；环境保护专用设备销售；非居住房地产租赁。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）