【LPCVD扩散炉-低压化学气相淀积设备-高温氧化扩散炉青岛晨立】价格

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更新时间 : 2024-12-11

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设备用途：用于大规模集成电路、电力电子、光电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。

设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。

主要技术指标：

炉管数：1～4管

配工艺管口径：Φ90～360 mm (3～12英寸)

恒温区长度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃) 760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)

单点稳定性： ±1.0℃/24h (300～800℃) ±0.5℃/24h (800～1280℃)

气源路数： ≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器

气体控制：浮子/质量流量计

悬臂舟参数：速度： 20～1000 mm/min 行程：2000 mm 定位精度：±1 mm 载荷：17 Kg

超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）

噪音： ≤62dB（A）

振动： ≤3μm

晨立扩散炉设备,技术和质量已达国际水平,受到半导体设备制造企业和半导体行业高度关注.可完全替代国外同规格产品满足不同工艺的要求。

供应商信息

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企业类型	有限责任公司(自然人投资或控股)	统一社会信用代码	91370282686796380X
成立日期	2009-06-02	法定代表人/负责人	姜新诚
注册资本	200万(元)	注册地址	山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼
营业期限	2009-06-02 至无固定期限	登记机关	青岛市即墨区市场监督管理局
经营范围	一般项目：工业自动控制系统装置制造；半导体器件专用设备制造；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；电子专用设备制造；电力电子元器件制造；电子元器件制造；半导体分立器件制造；光伏设备及元器件制造；环境保护专用设备制造；工业自动控制系统装置销售；电子产品销售；半导体分立器件销售；半导体照明器件销售；半导体器件专用设备销售；半导体照明器件制造；电子专用设备销售；光伏设备及元器件销售；工业机器人安装、维修；工业机器人销售；货物进出口；技术进出口；环境保护专用设备销售；非居住房地产租赁。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）