【电脑式退火炉卧式6寸两管退火炉青岛晨立】价格

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联系人： 姜先生
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所在地区：山东青岛
主营产品：半导体扩散炉,链式隧道烧结炉,真空焊接炉,高温加热炉体

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更新时间 : 2024-06-24

产品特性氧化退火	加工定制是
品牌晨立	型号cl
形式电动	电源电压380V

展开

电脑式退火炉卧式6寸两管退火炉青岛晨立

供大规模集成电路、MEMS 生产线用做6"硅片的合金、氧化、退火、烧结、扩散等工艺使用。同时也可下沉工艺，完成4寸wafer 的相应工艺。
一、设备结构:
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圆形6寸片
3、工艺布局:满足客户工艺要求

4、自动化程度:工控机控制系统自动控制工艺流程
5、送取片方式:手动进出舟。
6、外形:主机1台，主机架为卧式两管。
二、主要技术参数:
1、加热炉管有效口径:满足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。
2、工作温度范围:上管:600~1400℃
下管:200~500℃
3、恒温区长度及精度:600mm，
上管:800-1400℃.±0.2℃/24h
下管:200-500℃.±0.2℃/24h
4、控制方式:由工控机统一管理工艺
5、气路设置:每管两路气体:氮气100L/min.氩气100L/min。均采用MFC自动控制流量大小。

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青岛晨立电子有限公司成立于2009年，是专半导体设备及零部件、电子设备及电子元器件生产、研发、销售厂家。为客户提供***材料热处理、高精度电加热设备及系统集成等全套解决方案。主要产品：高低温扩散炉、实验炉、共晶炉、烧结炉、加磁炉、高精度智能温度控制系统和替代进口的扩散炉炉体等，同时承接各种微电子生产线，进口半导体专用设备的翻新升级改造及各大专院校科研院所的非标研发定制工作。公司本着和谐、共赢，以“质量求发展、以诚信为根本、以客户为中心、以用户满意”为最终目标的企业方针，为客户提供优质的产品，优良的服务。

企业类型	有限责任公司(自然人投资或控股)	统一社会信用代码	91370282686796380X
成立日期	2009-06-02	法定代表人/负责人	姜新诚
注册资本	200万(元)	注册地址	山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼
营业期限	2009-06-02 至无固定期限	登记机关	青岛市即墨区市场监督管理局
经营范围	一般项目：工业自动控制系统装置制造；半导体器件专用设备制造；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；电子专用设备制造；电力电子元器件制造；电子元器件制造；半导体分立器件制造；光伏设备及元器件制造；环境保护专用设备制造；工业自动控制系统装置销售；电子产品销售；半导体分立器件销售；半导体照明器件销售；半导体器件专用设备销售；半导体照明器件制造；电子专用设备销售；光伏设备及元器件销售；工业机器人安装、维修；工业机器人销售；货物进出口；技术进出口；环境保护专用设备销售；非居住房地产租赁。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）