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BRUKER 布鲁克 JV-DX X射线衍射仪 XRD

JordanValley的Delta-X是用于材料研究、工艺开发和质量控制的***柔性X射线衍射仪器。该系统具有全自动源和检测器光学元件以及水平样品安装,可以在完全计算机/配方控制下在标准和高分辨率X射线衍射和X射线反射率模式之间切换,而无需手动更改配 展开

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更新时间 : 2024-11-27
产品特性BRUKER是否进口
产地德国加工定制
类型X射线衍射仪品牌布鲁克/Bruker
型号X射线衍射仪品种其他干涉仪
测量范围0.1nm 至 10mm(闭环无拼接)测量分辨率0.1nm
最近工作距离150mm用途材料表面粗糙度
展开

布鲁克 JV-DX X射线衍射仪 XRD 

——X射线测量满足您的研发需求

 

Jordan Valley 的 Delta-X 是用于材料研究、工艺开发和质量控制的***柔性 X 射线衍射仪器。 该系统具有全自动源和检测器光学元件以及水平样品安装,可以在完全计算机/配方控制下在标准和高分辨率 X 射线衍射和 X 射线反射率模式之间切换,而无需手动更改配置。 这可确保每次使用佳工具配置,而无需专家设置工具以供使用。

 

? 样品的自动校准、测量和分析
? 测量的自动化程度由用户定义
? 使用 300 毫米欧拉支架实现高精度样品定位和扫描
? 全300mm 晶圆水平贴装和映射
? 由于 100° 倾斜 (Chi) 和***方位角旋转 (Phi),可以进行极点图和残余应力测量
? 根据请求的测量进行智能自动工具对齐和重新配置
? 行业领·先的设备控制和分析软件
? 使用高分辨率测角仪进行准确和***的测量
? 高强度光源和光学元件可实现快速测量
? 可用的技术和参数范围广泛
? 由拥有 30 多年经验和庞大的全球安装基础的高分辨率 X 射线衍射领域的专家打造

 

自动源和检测器阶段

 

? 光源光学器件的开发考虑到了易用性和佳性能。 所有系统均标配平行光束多层反射镜,可提供适用于 XRR 和 XRD 测量的高强度光束。
? 为了启用HRXRD,可以安装一系列晶体光学器件,以涵盖从8” (Ge 004) 到 >40” (Ge 111) 的分辨率。 可根据要求提供定制晶体。
? 它们会自动切换进出光束路径,以便能够在同一自动测量批次中覆盖适用于不同基板类型和不同技术的光束配置。 与其他系统不同,无需手动从系统中移除镜子或晶体,以确保它们不会损坏或错位。

 

高分辨衍射仪 & X 射线反射率

 

高分辨率 XRD 是第·一原理测量,可以确定外延层的厚度、成分、松弛、应变、掺杂剂水平和误切

?直接测量多层结构内层的松弛/应变/组成
?在需要时将三轴分析仪晶体自动插入和对齐到光束中
?自动样品校准、测量、分析和报告
?倒数空间图在几分钟内完成并使用PeakSplit 进行分析
?可以使用模拟双轴和三轴衍射扫描
? JV-RADS分析软件

 

X 射线反射率 (XRR) 是第·一原理测量,可以确定薄膜的厚度、密度和粗糙度

?第·一原理,无损测量
? XRR 对材料质量不敏感,因此层可以是非晶、多晶或外延层
?金属、氮化物、氧化物、有机物、聚合物……
?自动样品校准、测量、分析和报告
?厚度范围从 1nm 到 1μm,取决于吸收



供应商信息

亚科提供设备: 检测设备:原子力显微镜、三维光学表面轮廓仪(白光干涉仪)、台阶仪、摩擦磨损测试仪、桌面扫描电镜、场发射电镜、X射线衍射仪XRD、X射线荧光光谱仪、傅里叶红外光谱仪、椭偏仪、反射仪; 前道工艺设备:PVD、PECVD、ICPECVD、LPCVD、氧化炉、快速退火炉、高温氧化炉、PE-ALD、分子束外延MBE、离子注入设备、扩散炉、晶圆键合机、光刻机、纳米压印设备、匀胶显影设备、感应耦合等离子体刻蚀机ICP、 反应离子刻蚀机RIE、深硅刻蚀设备、气体刻蚀设备、离子束刻蚀机、湿法刻蚀、研磨抛光机、划片机、湿法清洗机; 微组装设备:粘片机(全自动和半自动)、键合机(全自动和半自动)、封焊机、推拉力测试仪、倒装焊等; LTCC设备:流延机、裁片机、冲孔机、印刷填孔机、叠片机、层压机\等静压机\温水压机、切割机、排胶机、烧结炉等。 公司主营设备: 1. 整套半导体设备 2. 整套微组装设备 3. 整套SMT设备 4. LTCC线和线缆加工设备 北京亚科晨旭科技有限公司 地址:北京市朝阳区酒仙桥路甲12号电子城科技大厦14层1408室 葛女士 市场主管 电话:010-84799262-809 传真:010-84799265

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企业类型 有限责任公司(自然人投资或控股) 统一社会信用代码 911101057832377671
成立日期 2005-11-28 法定代表人/负责人 彭辉
注册资本 1,000万(元) 注册地址 北京市朝阳区酒仙桥路14号53幢6层616室
营业期限 2005-11-28 至 2055-11-27 登记机关 北京市朝阳区市场监督管理局
经营范围 技术推广;市场调查;经济贸易咨询;展览服务;组织文化艺术交流活动(不含演出);货物进出口、技术进出口、代理进出口;销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品(不含危险化学品)。(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
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