| 是否进口否 | 产地中国 |
| 加工定制是 | 品牌鹏城半导体 |
| 型号PC-003 | 动力形式见说明书 |
| 种类见说明书 |
| 是否进口否 | 产地中国 |
| 加工定制是 | 品牌鹏城半导体 |
| 型号PC-003 | 动力形式见说明书 |
| 种类见说明书 |
高真空电阻热蒸发镀膜机采用电阻热蒸发技术，它是在高真空条件下，通过加热材料的方法，在衬底上沉积各种化合物、混合物单层或多层膜。可用于生产和科学实验，可根据用户要求专*门*订制；可用于材料的物理和化学研究；可用于制备金属导电电极；可用于有机材料的物理化学性能研究实验、有机半导体器件的原理研究实验、OLED实验研究及有机太阳能薄膜电池研究实验等。
设备构成
-单镀膜室
-单镀膜室＋进样室
-单镀膜室＋手套箱（可将镀膜室放在手套箱内）
-单镀膜室＋进样室＋手套箱（可将镀膜室放在手套箱内）
-多镀膜室＋样品传递室＋手套箱（组成团簇式结构，样品传递采用真空机械手）
设备组成
电阻热蒸发源组件、样品掩膜挡板系统、真空获得系统及真空测量系统、分子泵（或冷泵）真空机组、旋转基片加热台、工作气路、手套箱连接部件、样品传递机构，膜厚控制系统、电控系统、恒温冷却水系统等组成。
热蒸发源类型和数量，可根据用户需要进行配置。
可选件：膜厚监控仪，恒温制冷水箱。
热蒸发源种类及配置
电阻热蒸发源组件：数量：1～12套（可根据用户要求配装）；
电阻热蒸发源种类：钽（钨或钼）金属舟热蒸发源组件、石英舟热蒸发源组件、钨极或钨蓝热蒸发源组件、钽炉热蒸发源组件（配氮化硼坩埚或陶瓷坩埚）、束源炉热蒸发组件（配石英坩埚或氮化硼坩埚）。
工作条件（实验室应具备的设备工作条件）
供电：4kW，三相五线制～ AC 380V
工作环境湿度：10℃～ 40℃
工作环境温度：≤50%
冷却循环水：0.2m3/h，水温18℃～ 25℃
水压：0.15MPa ～ 0.25MPa
真空性能
极限真空：7×10-5Pa～7×10-6Pa
设备总体漏放率：关机12小时，≤10Pa
操作方式
手动、半自动
| 企业类型 | 有限责任公司 | 统一社会信用代码 | 91440300MA5H0RXA7M |
|---|---|---|---|
| 成立日期 | 2021-09-27 | 法定代表人/负责人 | 刘军 |
| 注册资本 | 1,085.5427万(元) | 注册地址 | 深圳市南山区桃源街道福光社区留仙大道3370号南山智园崇文园区3号楼304 |
| 营业期限 | 2021-09-27 至 无固定期限 | 登记机关 | 深圳市市场监督管理局 |
| 经营范围 | 一般经营项目是：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；新材料技术研发；新材料技术推广服务；真空镀膜加工；泵及真空设备制造；泵及真空设备销售；电子真空器件制造；电子真空器件销售；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；半导体分立器件制造；半导体分立器件销售；机械设备租赁；软件开发；工业设计服务；教育咨询服务（不含涉许可审批的教育培训活动）；会议及展览服务；广告设计、代理；广告制作；仪器仪表修理；化工产品销售（不含许可类化工产品）；新型金属功能材料销售；仪器仪表销售；电子产品销售；通讯设备销售。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动），许可经营项目是：互联网信息服务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准） | ||
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鹏城半导体技术（深圳）有限公司
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