| 是否进口否 | 产地中国 |
| 加工定制是 | 品牌鹏城半导体 |
| 型号PC-004 | 动力形式见说明书 |
| 种类见说明书 | 极限真空7×10-5Pa～7×10-6Pa |
| 是否进口否 | 产地中国 |
| 加工定制是 | 品牌鹏城半导体 |
| 型号PC-004 | 动力形式见说明书 |
| 种类见说明书 | 极限真空7×10-5Pa～7×10-6Pa |
电子束蒸镀机（高真空电子束蒸发镀膜机）是在高真空条件下，采用电子束轰击材料加热蒸发的方法，在衬底上镀制各种金属、氧化物、导电薄膜、光学薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、超硬膜等；可镀制混合物单层膜、多层膜或掺杂膜；可镀各种高熔点材料。
可用于生产、科学实验及教学，可根据用户要求专*门订制。
可根据用户使用要求，选配石英晶体膜厚自动控制及光学膜厚自动控制两种方式, 通过PLC 和工控机联合实现对整个镀膜过程的全程自动控制, 包括真空系统、烘烤系统、蒸发过程和膜层厚度的监控功能等，从而提高了工作效率和***产品质量的一致性和稳定性。
设备特点
设备具有真*空度高、抽速快、基片装卸方便的特点，配备 E 型电子束蒸发源和电阻蒸发源。PID自动控温，具有成膜均匀、放气量小和温度均匀的优点。
可根据用户使用要求，选配石英晶体膜厚自动控制及光学膜厚自动控制两种方式,通过PLC和工控机联合实现对整个镀膜过程的全程自动控制,包括真空系统、烘烤系统、蒸发过程和膜层厚度的监控功能等，从而提高了工作效率和***产品质量的一致性和稳定性。
真空性能
极限真空：7×10-5Pa～7×10-6Pa
设备总体漏放率：关机12小时，≤10Pa
恢复工作真空时间短，大气至7×10-4Pa≤30分钟；
设备构成
E 型电子束蒸发枪、电阻热蒸发源组件（可选配）、样品掩膜挡板系统、真空获得系统及真空测量系统、分子泵真空机组或低温泵真空机组、旋转基片加热台、工作气路、样品传递机构，膜厚控制系统、电控系统、恒温冷却水系统等组成。
可选件：膜厚监控仪，恒温制冷水箱。
热蒸发源种类及配置
E 型电子束蒸发系统 1套
功率 6kW～10kW 其它功率(可根据用户要求选配）
坩埚 1～8只 可根据用户要求选配
电阻热蒸发源组件 1～4套 （可根据用户要求配装）
电阻热蒸发源种类
-钽（钨或钼）金属舟热蒸发源组件
-石英舟热蒸发源组件
-钨极或钨蓝热蒸发源组件
-钽炉热蒸发源组件（配氮化硼坩埚或陶瓷坩埚）
-束源炉热蒸发组件（配石英坩埚或氮化硼坩埚）
操作方式
手动、半自动
1-3-6-3-2-7-5-0-0-1-7
| 企业类型 | 有限责任公司 | 统一社会信用代码 | 91440300MA5H0RXA7M |
|---|---|---|---|
| 成立日期 | 2021-09-27 | 法定代表人/负责人 | 刘军 |
| 注册资本 | 1,085.5427万(元) | 注册地址 | 深圳市南山区桃源街道福光社区留仙大道3370号南山智园崇文园区3号楼304 |
| 营业期限 | 2021-09-27 至 无固定期限 | 登记机关 | 深圳市市场监督管理局 |
| 经营范围 | 一般经营项目是：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；新材料技术研发；新材料技术推广服务；真空镀膜加工；泵及真空设备制造；泵及真空设备销售；电子真空器件制造；电子真空器件销售；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；半导体分立器件制造；半导体分立器件销售；机械设备租赁；软件开发；工业设计服务；教育咨询服务（不含涉许可审批的教育培训活动）；会议及展览服务；广告设计、代理；广告制作；仪器仪表修理；化工产品销售（不含许可类化工产品）；新型金属功能材料销售；仪器仪表销售；电子产品销售；通讯设备销售。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动），许可经营项目是：互联网信息服务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准） | ||
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鹏城半导体技术（深圳）有限公司
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