加工定制否 | 品牌德国 Centrotherm |
型号c.RAPID 150 | 用途研发和小规模量产 |
是否跨境货源否 |
加工定制否 | 品牌德国 Centrotherm |
型号c.RAPID 150 | 用途研发和小规模量产 |
是否跨境货源否 |
Centrotherm 快速退火炉-c.RAPID 150
一、产品简介
德国Centrotherm公司是国际主流的半导体设备供应商,尤其在高温设备领域。Centrotherm c.RAPID 150是一款高性能、多用途的快速退火设备,主要用于满足研发和小规模量产所需的多种工艺要求。
Centrotherm测温系统适用于从室温至高温的广泛区间。Centrotherm优化的多区温控系统结合可以独立控制的加热灯,提供了***控温精度和控温重复性。
此款设备配置手动装载系统,适用于研发以及小型的量产。
成熟的真空操作和气体管理系统为多种应用提供了可控的气体环境。***性能和高度的灵活性,结合小的占地面积,低的客户拥有成本,使c.RAPID 150成为一款佳的手动RTP设备。
二、典型应用
l 退火:一般退火、接触层(Contact)退火、源/漏退火、势垒金属退火
l 硅化
l 氧化
l 掺杂活化
三、产品特性
l 可在常压或者真空(控压)下工作
l 高度灵活性:适用于6寸的硅片或者可放置基片的6寸托盘
l 升温速率约150 K/s
l ***温度均匀性
l 确的环境控制
l 高的设备可靠性
l 可以并排安装
企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 统一社会信用代码 | 911101057832377671 |
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成立日期 | 2005-11-28 | 法定代表人/负责人 | 彭辉 |
注册资本 | 1,000万(元) | 注册地址 | 北京市朝阳区酒仙桥路14号53幢6层616室 |
营业期限 | 2005-11-28 至 2055-11-27 | 登记机关 | 北京市朝阳区市场监督管理局 |
经营范围 | 技术推广;市场调查;经济贸易咨询;展览服务;组织文化艺术交流活动(不含演出);货物进出口、技术进出口、代理进出口;销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品(不含危险化学品)。(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。) |