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所在地区：上海上海
主营产品：原子力显微镜,扫描电子显微镜,纳米表征,微纳加工

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更新时间 : 2024-07-02

加工定制是	品牌EVG
型号EVG520IS	用途键合

展开

EVG520IS

应用范围

主要应用于MEMS制造、微流体芯片、化合物半导体的薄片处理、晶圆级***封装以及3D互联、TSV工艺。

主要特点

u ***的硅片低压契型补偿系统以提高良率

u 优异的温度压力均匀性

u 工艺菜单与其他键合系统通用

u 手动上料和下料台，全自动工艺过程，外置冷却台

u 单一或双腔式设计

u 全自动键合工艺执行和键合室自动开合设计

u 多层键合能力，如三层基片同时键合

u 集成的冷却台，大幅提高产能

u 选项:

- 涡轮分子泵

- 高真空能力

-程序控制气体流量

供应商信息

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上海银雀电子科技发展有限公司,自成立以来就一直专注于半导体、微组装和电子装配等领域的设备集成和技术服务。

企业类型	有限责任公司(自然人投资或控股)	统一社会信用代码	913101147743437873
成立日期	2005-04-26	法定代表人/负责人	彭波
注册资本	1,000万(元)	注册地址	上海市嘉定工业区叶城路925号B区4幢JT30367室
营业期限	2005-04-26 至 2045-04-25	登记机关	嘉定区市场监督管理局
经营范围	一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；会议及展览服务；组织文化艺术交流活动；信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）；机械设备销售；电子产品销售；建筑材料销售；货物进出口；技术进出口；进出口代理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）

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侯先生工程师

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