【19台EVG6200 NT光刻机出售 9成新量多***】价格

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所在地区：广东深圳
主营产品：二手三坐标,二手圆度仪,二手显微镜,维修高度仪

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更新时间 : 2025-03-29

产品特性无	加工定制否
品牌1EVG	型号1EVG6200 NT
用途检测晶园

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EVG ? 6200 NT掩模对准器为光学双面光刻的多功能工具和晶片尺寸高达200毫米。

技术数据：EVG6200 NT以其自动化灵活性和可靠性而著称，可在最小的占位面积上提供进的掩模对准技术，并具有的产能，***的对准功能和优化的总拥有成本。操作员友好型软件，***的掩模和工具更换时间以及高效的全球服务和支持使它成为任何制造环境的理想解决方案。EVG6200 NT或完全安装的EVG6200 NT Gen2掩模对准系统有半自动或自动配置，并配有集成的振动隔离功能，可在广泛的应用中实现***曝光效果，例如薄和厚光刻胶的曝光，深腔和类似地形的图案，以及薄而易碎的材料（例如化合物半导体）的加工。此外，半自动和全自动系统配置均支持EVG***SmartNIL技术。

EVG6200 NT特征：

晶圆/基板尺寸从小到200 mm / 8&＃39;&＃39;

系统设计支持光刻工艺的多功能性

在***次光刻模式下的吞吐量高达180 WPH，在自动对准模式下的吞吐量高达140 WPH

易碎，薄或翘曲的多种尺寸的晶圆处理，更换时间短

带有间隔垫片的自动无接触楔形补偿序列

自动原点功能，用于对准键的***居中

具有实时偏移校正功能的动态对准功能

支持***的UV-LED技术

返工分拣晶圆管理和灵活的盒式系统

自动化系统上的手动基板装载功能

可以从半自动版本升级到全自动版本

最小化系统占地面积和设施要求

多用户概念（***数量的用户帐户和程序，可分配的访问权限，不同的用户界面语言）

***的软件功能以及研发与全面生产之间的兼容性

便捷处理和转换重组

远程技术支持和SECS / GEM兼容性

台式或带防震花岗岩台的单机版

EVG6200 NT附加功能：

键对准

红外对准

纳米压印光刻（NIL）

EVG6200 NT技术数据：

曝光源

汞光源/紫外线LED光源

***的对准功能

手动对准/原位对准验证

自动对准

动态对准/自动边缘对准

对准偏移校正算法

EVG6200 NT产能：

全自动：***批生产量：每小时180片

全自动：吞吐量对准：每小时140片晶圆

晶圆直径（基板尺寸）：高达200毫米

对准方式：

上侧对准：≤±0.5 ?m

底侧对准：≤±1,0 ?m

红外校准：≤±2,0 ?m /具体取决于基板材料

键对准：≤±2,0 ?m

NIL对准：≤±3.0 ?m

曝光设定：真空接触/硬接触/软接触/接近模式/弯曲模式

楔形补偿：全自动软件控制

曝光选项：间隔曝光/洪水曝光/扇区曝光

系统控制

操作系统：Windows

文件共享和备份解决方案/***制程序和参数

多语言用户GUI和支持：CN，DE，FR，IT，JP，KR

实时远程访问，诊断和故障排除

工业自动化功能：盒式磁带/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄，弯曲，翘曲，边缘晶圆处理

纳米压印光刻技术：SmartNIL

供应商信息

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深圳市维多克科技有限公司维修内容： 1）出售二手显微镜，色差仪，二次元，三次元，圆度仪等仪器。 2）.专业维修带表卡尺、游标卡尺、数显卡尺、高度尺、千分表、表、千分尺、内外径量表、测厚规等2）.专业维修日本三丰“Mitutoyo” ,Olypus量具量仪 3）.各类型硬度计、推拉力计、扭力计、投影仪、二次元、三次元等精密仪器 4）维修三坐标，三次元，德国蔡司ZEISS三坐标，日本三丰三坐标，三丰三坐标维修升级 5）专业维修尼康NIKON系列显微镜、测量设备 6）卡尺维修，维修卡尺 7）恒温恒湿，冷热冲击，盐雾试验机，线材测试机，等环境测试设备维修， 8）示波器，信号发生器，UPS, LCR,功率计等电子仪器等维修，二、维修项目(品牌不限): 1、数显卡尺:出现的精度不准或贴面不平，外量爪严重磨损、较大间隙，推手损坏，显示数字不全或缺画，滑动不顺、尺身磨损、深度尺磨损、部件遗失等. 2、量表：表盘量表，出现的精度不准，指针乱跳、不归零，表盖损坏、主测杆变形无法上下滑动、主齿轮缺齿或磨损、油丝变形或损坏等---。 3、杠杆表：出现的精度不准，指针乱跳、不归零，表盖损坏，油丝变形、枢轴损坏、扇形齿轮定位针损坏、中心轴损坏等---。 4、投影仪：精度不准，X轴内部轴承严重磨损，投影仪视像模糊，目镜、光学镜头组模糊，测量工作台X/Y轴丝杆、导轨有锈渍，长期缺少保养等---。 5、工具显微镜：光学成像不清楚、十字线偏移、上下升降不顺畅通无阻、机台长期缺少保养、X，Y轴信号传输异常、显示数值调、上、下灯源供电电路损坏、X，Y轴量程不足等---。 6、影像测量仪：精度不准，X轴内部轴承严重磨损，导轨有锈渍，长期缺少保养,上灯源亮度不够或不亮、底灯不亮、X、Y轴数据同步跳动等---。 7、投影仪电子测头、工具显微镜电子微分头时,数据不准、排线断、按键损坏或按键失控、等---。 8、高度尺：附表高度尺，手柄齿轮磨损，无法正常上、下提升，精度不准，指针不归零，指针断到，表盘数字无法转动等---。数显高度尺，无法正常显示，手柄齿轮磨损，无法正常上、下提升，精度不准等---。 9、恒温恒湿：不加热，不制冷，开不了机，控制器损坏，温湿度示值误差。开机无启动。 10、曲线荷重仪器：荷重元更换，示值误差，电机故障不能上下升降，软件升级更换，等三、服务承诺质量: 量具维修精度符合国家规定标准!服务承诺: 经东莞奥科仪器维修的仪器仪表,如送***计量局计量,计量不合格不收取任何费用、并免费维修计量合格为止!维修服务：仪器量具维修所报价项目负责正常使用期间(非消耗品部位)保修三个月,人为因素不保。联系人：周小姐联系电话：13549208507

企业类型	有限责任公司	统一社会信用代码	91440300342472083M
成立日期	2015-05-13	法定代表人/负责人	周晶蓉
注册资本	50万(元)	注册地址	深圳市宝安区松岗街道沙浦社区松江路6号满京华·科创工坊（三栋）906
营业期限	2015-05-13 至无固定期限	登记机关	深圳市市场监督管理局宝安监管局
经营范围	化工产品、高分子材料及设备、纤维材料及设备的研发和销售（以上均不含危险化学品）；高分子材料工艺、纤维材料工艺的技术开发；防火材料的销售；电子元器件、集成电路、光电产品、半导体产品、太阳能产品、仪表配件、数字电视播放产品及通讯产品的技术开发及销售；文具用品、包装材料、电脑数码产品的销售；国内贸易，货物及技术进出口。（法律、行政法规或者国务院决定禁止和规定在登记前须经批准的项目除外）^涂料的销售；维修校正空调、维修仪器仪表；仪器设备维护保养；第二类医疗器械的销售。