【Nikalyte NL-Cube纳米沉积系统】价格

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更新时间 : 2025-03-24

加工定制否	品牌Nikalyte
型号NL-Cube	用途纳米薄膜沉积

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Nikalyte NL-Cube纳米沉积系统是一个紧凑且灵活的PVD（物***相沉积）系统，具备薄膜、纳米颗粒和合金沉积能力。该系统有两种型号：375型（最多可容纳五个源，基底直径可达四英寸）和300型（最多可容纳四个源，基底直径可达两英寸）。由于其体积相对较小，真空腔体的抽真空速度较快，周转时间约为30分钟。

每套系统均可兼容多种源，包括磁控溅射源、纳米颗粒源、小型电子束源、热舟源以及原子和离子源。系统可以配置为向上溅射或向下溅射模式。此外，还提供基底旋转、偏压以及可达800℃的加热选项。

真空腔体在英国制造，采用高质量的304不锈钢材质，并配有轻质铝制门。它安装在一个系统机架上，该机架包含控制系统、电源和真空泵。整个系统配备轮子以便移动，并在定位后可锁定脚部以固定位置。

集成的PC和多功能Spectrum软件提供了无缝的用户体验，使客户能够远程控制该系统并运行复杂的工艺配方。

Nikalyte NL-Cube纳米沉积系统关键特性：

· 可用的源包括磁控溅射源、纳米粒子源、小型电子束源、热舟蒸发源、原子源和离子源。

· 提供向上溅射或向下溅射配置。

· 提供旋转、偏压以及高达800℃的加热选项。

· 周转时间约为45分钟。

· 真空度可达5×10??托。

· 系统机架包含控制系统、电源和泵。

· 集成的个人电脑配备Spectrum软件，可实现自动化过程控制、复杂配方和数据记录。

Cube系统配置：

项目	Cube 300	Cube 375
沉积腔尺寸	300×300×300 mm	375×375×375 mm
基础真空度	<1×10??托	<5×10??托
溅射方向	向下溅射/向上溅射	向下溅射/向上溅射
样品台	2英寸晶圆，20转/分钟旋转，射频/直流偏压和加热至400℃	4英寸晶圆，20转/分钟旋转，射频/直流偏压和加热至800℃
抽真空系统	80升/秒涡轮分子泵配7.2立方米/小时干式前级泵	300升/秒涡轮分子泵配7.2立方米/小时干式前级泵
阀门	手动/自动阀门、快门、直线驱动和抽真空挡板阀	手动/自动阀门、快门、直线驱动和抽真空挡板阀
控制软件	配方驱动过程、电源控制和数据记录	配方驱动过程、电源控制和数据记录
原位监测	石英晶体微量天平用于过程监测和终点检测	石英晶体微量天平用于过程监测和终点检测
源端口	最多4个沉积源	最多5个沉积源
源类型	纳米粒子源、磁控溅射源、小型电子束蒸发源、热舟蒸发源、K型离子源、射频原子源	纳米粒子源、磁控溅射源、小型电子束蒸发源、热舟蒸发源、K型离子源、射频原子源
涂层均匀性	±2%（样品旋转时）

供应商信息

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杭州雷迈科技有限公司（Labmates Technology）成立于2010年，公司致力于实验室科学仪器和工业专用设备的研发、销售和技术服务。主营产品包括铁电材料测试仪、宽频介电阻抗谱仪、薄膜压电测试仪、3D轮廓仪、显微CT、光谱分析仪、衍射仪和分光光度仪等分析测试仪器和设备。产品应用于新材料、电子、半导体、化工、光伏、玻璃等众多行业及高等院校和科研机构。公司关注科技发展趋势和动态，与时俱进引进新兴功能性材料的分析和表征整体解决方案，已与众多高校及科研院所建立起技术交流和合作关系，以专业应用技术为优势，以产品整体解决方案为己长，为用户提供可靠的产品和服务。经过团队每一个成员的持续努力和奋斗，扩展了公司业务范围和知识的边界，稳步发展。专业的销售和技术服务工程师，结合的产品和诚实守信的经营理念，赢得广大客户的认可。特别在不断涌现的新材料和技术方面，我们紧跟步伐，不断，竭诚为广大客户提供的产品和服务！我们的愿景是通过提供以科学为基础的高品质、新技术的产品和服务，成为***实验室的专业合作伙伴，此正是我们的英文名称“Labmates”之寓意。我们真诚感谢客户的支持，期待分享一个成功的未来。

企业类型	有限责任公司(自然人投资或控股)	统一社会信用代码	91330109560584315R
成立日期	2010-09-14	法定代表人/负责人	蒋新浩
注册资本	500万(元)	注册地址	浙江省杭州市萧山区城厢街道通惠中路1号泰富广场1幢2205室
营业期限	2010-09-14 至无固定期限	登记机关	杭州市萧山区市场监督管理局
经营范围	工业自动化设备、化学制品（除化学危险品及易制毒化学品）、电子产品、实验室仪器仪表的设计、研发、技术服务；销售：实验室仪器、仪表及耗材，机电设备及零配件，工业自动化设备及零配件，化学制品（除化学危险品及易制毒化学品），电子产品（除电子出版物），计算机软件及辅助设备（除计算机信息系统安全专用产品和网络游戏）；佣金代理（拍卖除外）；货物及技术的进出口**