| 产品特性离子束 | 品牌那诺-马斯特/Nano-Master |
| 规格14.5”腔体 | 类型离子束刻蚀系统 |
| 型号NIE-3500（A） | 产地美国 |
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| 产品特性离子束 | 品牌那诺-马斯特/Nano-Master |
| 规格14.5”腔体 | 类型离子束刻蚀系统 |
| 型号NIE-3500（A） | 产地美国 |
NIE-3500（A）全自动IBE离子束刻蚀产品概述：该系统为全自动上下载片，并且通过计算机全自动实现工艺控制的紧凑型独立的立柜式离子束刻蚀系统，系统具有结构紧凑、功能强大、自动化程度高、模块化设计易于维护、低成本的优势。该系统所配套的所有核心组件均为。
该IBE离子束刻蚀系统具有很强的适应性，可根据不同的应用而按不同的配置进行建构。多样的样片夹具和离子源配置可支持用户不同的应用。用于离子铣系统的样片夹具可以支持±90°倾斜、旋转、水冷和背氦冷却。
我们的IBE离子束刻蚀系统可以把基片温度保持在50°C以内的能力。通过倾斜和旋转，可以刻蚀出带斜坡的槽，并且改善了对侧壁轮廓和径向均匀度的控制。不同的选配项可以用于不同的网格配置以及中和器。溅射选配项可以支持对新刻蚀金属表面的涂覆，以防氧化。此外，还可以选配单晶圆自动上下片功能。该系列IBM离子铣系统或IBE离子束刻蚀系统可以配置RF ICP离子源，升级为RIBE反应离子束刻蚀系统。
NIE-3500（A）全自动IBE离子束刻蚀产品特点：
低成本
带预真空锁，自动上下载片
离子束：高达2KV/10mA
离子电流密度100-360uA/cm2
离子束直径：4",5",6"
兼容反应及非反应气体(Ar, O2, CF4,Cl2)
极限真空5x10-7Torr
260l/s涡轮分子泵，串接500 l/min干泵
14"不锈钢或铝质腔体
水冷旋转/倾斜样品台(NIE-3500)
自动上下载片（NIE-3500）
基于LabView软件的PC计算机全自动控制
占地面积30"x30"
NIE-3500（A）全自动IBE离子束刻蚀设备应用：
表面处理
离子铣
表面清洗
带活性气体的离子束刻蚀： 光栅刻蚀，以及SiO2，Si和金属的深槽刻蚀
| 企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 统一社会信用代码 | 91310114MABTYCA99H |
|---|---|---|---|
| 成立日期 | 2022-07-06 | 法定代表人/负责人 | 张文闯 |
| 注册资本 | 500万(元) | 注册地址 | 上海市嘉定区菊园新区环城路2222号6幢101室JT4602 |
| 营业期限 | 2022-07-06 至 2042-07-05 | 登记机关 | 嘉定区市场监督管理局 |
| 经营范围 | 一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；软件开发；计算机系统服务；广告制作；广告发布；广告设计、代理；企业形象策划；专业设计服务；企业管理咨询；市场调查（不含涉外调查）；图文设计制作；项目策划与公关服务；会议及展览服务；信息技术咨询服务；信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）；组织文化艺术交流活动；互联网销售（除销售需要许可的商品）；电子产品销售；计算机软硬件及辅助设备零售；实验分析仪器销售；仪器仪表销售；机械设备销售；半导体器件专用设备销售；第一类医疗器械销售；货物进出口；技术进出口；电子元器件与机电组件设备销售。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）许可项目：建设工程施工；网络文化经营。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准） | ||
