品牌ULVAC | 规格个 |
类型 多级罗茨型干泵 | 型号UR600 |
品牌ULVAC | 规格个 |
类型 多级罗茨型干泵 | 型号UR600 |
通过高温领域的泵体均热化,实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。
特点
高温区域均热化
实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
UR系列可比HR系列更加高温化。
氦气密封
通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构,非常安全。
瞬停对策
采取了1000msec以内瞬停对策。
***耐腐蚀性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
通信功能
可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信,则可实现集中监控。
用途
CVD装置
蚀刻装置
灰化装置
ALD、ALH 等
规格
型号 | UR421-T | UR600 | UR1200 | UR1800 | UR3601-TT | |
使用泵 | 干式真空泵 | UR421-T | UR90 | UR90 | UR180 | UR421-T |
机械增压泵 | - | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C-T | |
排气速度 | 50Hz | 410 m3/h (6833 L/min) | 653 m3/h (10883 L/min) | 1012 m3/h (16867 L/min) | 1701 m3/h (28350 L/min) | 2700 m3/h (45000 L/min) |
到达压力 | 5.0 Pa | |||||
排气压力(吸入圧力) | 大气压 | |||||
排气口压力 (排出圧力) | 1.0~ 大气压 Pa | |||||
吸气口 (CE规格) | VG100 | VG80(NW80) | VG100(NW100) | VG150(NW100) | VG150 | |
排气口 | VG50 | NW40 | NW50 | |||
质量 | 415 kg | 370 kg | 403 kg | 553 kg | 720 kg | |
电源 *2 | 三相 | 180~240 VAC/ 380~440 VAC (50/60 Hz) | 200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/ 380~440 VAC (50/60 Hz) | ||
电流值 | 稳定时 | 23 A(at 200V) | 16.4 A(at 200V) | 18.9 A(at 200V) | 29.2 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | 39.8 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) |
值 | 52.5 A(at 200V) | 17.3 A(at 200V) | 22. 4 A(at 200V) | 34.9 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | 68.3 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | |
冷却水一次压力 | 0.2~0.5 Mpa | 0.1~0.3 Mpa | 0.2~0.5 Mpa | |||
冷却水出入口压差 | >0.2 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.2 Mpa | |
冷却水流量 | >5.0 L/min | |||||
吹扫气 | 一次压力 | 0.1~0.5 Mpa | ||||
二次压力 | 0.05~0.1 Mpa | |||||
N2吹扫 | 轴 | 5 SLM | ||||
气镇 | 0~195 SLM | 0~45 SLM | 0~195 SLM | 0~195 SLM |
*1:请勿在UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT大于压力值200Pa的情况下进行连续运
* 没有登载规格一览表上的UR系列请另行确认
■运转方式
干式真空泵运转方式 | 1 | 2 | 3 | |
N2 流量 | SLM | 0 | 5 | 5~50*1 |
企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 统一社会信用代码 | 91110302MA0090KK7Q |
---|---|---|---|
成立日期 | 2016-10-21 | 法定代表人/负责人 | 黄希 |
注册资本 | 100万(元) | 注册地址 | 北京市通州区江米店街1号院5号楼16层1612 |
营业期限 | 2016-10-21 至 2036-10-20 | 登记机关 | 北京市通州区市场监督管理局 |
经营范围 | 零售机械设备、仪器仪表、电子产品、化工产品(不含危险化学品)、通讯器材、五金交电(不含电动自行车)、日用品;技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务;组织文化艺术交流活动;货物进出口、代理进出口、技术进出口。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本区产业政策禁止和限制类项目的经营活动。) |